Сканирующая акустическая микроскопия (САМ)

UST 400 использует высокочастотный ультразвук (свыше 5 МГц) для определения формы, размера, местоположения и распределения дефектов внутри полупроводниковых приборов и материалов; результаты отображаются в виде волновых форм и изображений.

Прибор обладает высокой чувствительностью к поверхностям соединений и способен выявлять несплошные дефекты: поры, трещины, включения и расслоения.

Метод относится к неразрушающему контролю, позволяет сохранять мелкие дефекты, которые утрачиваются при разрушающих испытаниях; проверенные образцы остаются пригодными для дальнейшей эксплуатации.

Путём анализа распределения плотности материала определяются его механические характеристики, включая поле напряжений и характер развития трещин. Также прибор позволяет определять различия плотности материалов, модуль упругости, толщину и изменения геометрической формы.

Основные области применения: анализ отказов, оценка надёжности, технологический контроль, контроль качества, разработка продукции, совершенствование технологических процессов и входной контроль материалов.

Полоса пропускания ультразвукового передатчика-приёмника：5–300 МГц (опция до 500 МГц)

Диапазон частот ультразвукового преобразователя：5 МГц–300 МГц

Частота дискретизации АЦП-платы сбора данных：1 Гвыборка/с

Максимальное разрешение сканирующей оси：0,5 мкм

Максимальная скорость сканирования：1000 мм/с

Повторяемость позиционирования：±1 мкм

Ход оси фокусировки Z：100 мм

Максимальная область сканирования по осям X/Y：

320 мм × 320 мм (стандартная комплектация)

320 мм × 160 мм (опция сквозного сканирования)